X射線鍍層測(cè)厚儀兩大特長(zhǎng)描述
點(diǎn)擊次數(shù):967 更新時(shí)間:2017-02-21
X射線鍍層測(cè)厚儀特長(zhǎng):
1.通過(guò)新薄膜FP法提高測(cè)量精度
X射線鍍層測(cè)厚儀實(shí)現(xiàn)微小光束的高靈敏度,通過(guò)微小準(zhǔn)直器提高了膜厚測(cè)量精度。鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2。另外,針對(duì)檢測(cè)器的特性開發(fā)了新的EP法,F(xiàn)T110A可進(jìn)行無(wú)標(biāo)樣測(cè)量。測(cè)量結(jié)果可一鍵生成報(bào)告書,簡(jiǎn)單方便。
新 薄膜EP法
減少檢量線制作的繁瑣程度、實(shí)現(xiàn)了設(shè)定測(cè)量條件的簡(jiǎn)易化;
無(wú)標(biāo)樣測(cè)量方法可進(jìn)行zui多5層的膜厚測(cè)量;
自動(dòng)對(duì)焦功能和距離修正功能
凹凸落差的樣品可通過(guò)薄膜EP法做成的相同測(cè)定條件進(jìn)行測(cè)量;
靈敏度提高
鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2;
生成報(bào)告功能
一鍵生成測(cè)量報(bào)告書。
2.自動(dòng)對(duì)焦功能 自動(dòng)接近功能
在X射線鍍層測(cè)厚儀樣品臺(tái)上放置各種高度的樣品時(shí),只要高低差在80mm范圍內(nèi),即可在3秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)焦被測(cè)樣品。由此進(jìn)一步提高定位操作的便捷性。