X射線鍍層測厚儀即放即測,方便耐用
點擊次數(shù):1099 更新時間:2015-12-05
X射線鍍層測厚儀特點
即放即測!
通過自動定位功能,放置樣品后僅需幾秒,便能自動對準(zhǔn)觀察樣品焦點。
10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量!
以*的設(shè)計實現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度。
無標(biāo)樣測量!
將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴充,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測量。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品。
通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測量位置!
通過廣域觀察系統(tǒng),能夠從畫面上的樣品整體圖(zui大250×200mm)中方便地測量位置。
對半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測量管理,可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì),降低成本。精工從1971年推出非接觸、短時間內(nèi)可進(jìn)行高精度測量的X射線鍍層測厚儀以來,已經(jīng)累計銷售6000多臺,得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測量需求,精工開發(fā)了配備有自動定位功能的XX射線鍍層測厚儀。通過自動定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺上,就可在數(shù)秒內(nèi)對樣品進(jìn)行自動對焦。由此,無需進(jìn)行以往的手動逐次對焦的操作,大大提高了樣品測量的操作性。
近年來,隨著檢測零件的微小化,對微區(qū)的高精度測量的需求日益增多。X射線鍍層測厚儀實現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。并且,配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測量,可對應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。